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Sigma-Aldrich

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV)

99.999% trace metals basis

Synonyme(s) :

TDMAT, Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)

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About This Item

Formule linéaire :
[(CH3)2N]4Ti
CAS Number:
3275-24-9
Poids moléculaire :
224.17
Numéro CE :
221-904-3
Numéro MDL:
MFCD00014861
Code UNSPSC :
12352103
ID de substance PubChem :
24870618
Nomenclature NACRES :
NA.23

Niveau de qualité

200

Essai

99.999% trace metals basis

Forme

liquid

Pertinence de la réaction

core: titanium

pb

50 °C/0.5 mmHg (lit.)

Densité

0.947 g/mL at 25 °C (lit.)

Chaîne SMILES 

CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C

InChI

1S/4C2H6N.Ti/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4

Clé InChI

MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N

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Description générale

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Application

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) (TDMAT) is a precursor to titanium nitride (TiN) thin films by organometallic chemical vapor deposition (OMCVD)and titanium dioxide thin films by atomic layer deposition (ALD).TDMAT undergoes exothermal reaction with excess cyclopentadiene to yield tris(dimethylamido)(η5-cyclopentadienyl)titanium(IV).

À utiliser avec

Réf. du produit
Description
Tarif

Pictogrammes

FlameCorrosion
GHS02,GHS05

Mention d'avertissement

Danger

Mentions de danger

H225,H260,H314

Classification des risques

Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 1

Risques supp

EUH014

Code de la classe de stockage

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

Classe de danger pour l'eau (WGK)

WGK 3

Point d'éclair (°F)

-22.0 °F - closed cup

Point d'éclair (°C)

-30 °C - closed cup

Équipement de protection individuelle

Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter

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Certificats d'analyse (COA)

Lot/Batch Number
SHBP1947
SHBL6315
SHBL2751
SHBH9716
80197MM

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